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简单分析硅微机械传感器的发展潜力

作者:admin  更新时间:2017-12-29

  硅微机械传感器是目前MEMS产品中应用最广的品类。主要出现在压力、加速度、角速度等传感器中,本文针对硅微机械传感器的发展潜力进行简单介绍。

 简单分析硅微机械传感器的发展潜力

  1、良好的机械性能

  对于传感器而言,操作者需要一个可以重复产生的信号,对于机械传感器来讲,它的结构在受到同样的负载时必须以同样的方式形变。因此人们需要一种没有机械回滞和蠕变的材料。回滞是由于材料的塑性形变引起的。

  硅在弹性形变前就会失效,而且使硅失效的应力大大超过了不锈钢的屈服应力。从这一点上来说,硅比所有金属都要强。而且硅中如果某一点应力超过屈服点,硅就会失效,并且结构断裂。硅的这种特性在很多情况下适合传感器:如果传感器过载,它直接断裂无法工作,要比给出错误信号要好。感知可重复产生的机械形变的另一个重要特性是蠕变。这是一种现象,见于所有的材料,表现为一个结构在恒定的外负载作用下保持持续形变。

  2、硅微机械传感器的制造技术

  硅微机械加工工艺是从集成电路的制造技术发展来的,基本上是采用刻蚀技术、薄膜淀积和圆片建和技术对硅片进行加工,这种生产方式被称为“批处理”,在同一时间制造大量的组件。

  最后,硅微机械加工工艺最后体现在传感器上的主要优势就是成本低和可靠性高,这对于工业领域和消费电子领域有巨大的帮助。