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浅谈智能传感器系统的集成技术

作者:admin  更新时间:2017-07-25
智能传感器系统的集成技术可以分为两个部分:微机械加工技术和集成电路工艺。微机械加工技术实收集成电路工艺的启发发展起来的。集成电路工艺中的基本工艺,如材料生长、扩散、离子注入、外延、光刻、腐蚀等在微机械加工技术中也起着重要作用。近年来,利用微机械加工技术已经能够制造非常复杂的三维微结构。在智能传感器系统中,微机械加工技术主要用来制作传感器的敏感单元。集成电路自诞生以来,就以惊人的速度飞速发展,经过短短的四五十年,集成度便经历了小规模、中规模、大规模、超大规模、甚大规模ULSI等阶段,目前已能在一个镜片上几成熟时一个元件。在智能传感器系统中,集成电路工艺主要用来制作传感器的电路部分。
浅谈智能传感器系统的集成技术
集成电路工艺何为机械技术的结合使得将敏感元件与功能强大的电子线路集成在同一芯片上(或二次集成在同一外壳内)构成集成智能传感器成为可能。和经典的传感器相比,集成智能传感器具有体积小、成本低、功耗小、速度快、可靠性高、精度高以及功能强大等优点。集成智能传感器的这些优点使得它成为目前传感器研究的热点和传感器发展的主要方向,必将住在未来的传感器市场。