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厚膜混合集成电路的材料及生产制作流程

作者:admin  更新时间:2017-09-08
厚膜混合集成电路中,基片起着承载厚膜元件、互连、外贴元件和以及包封等作用,在大功率电路中,基片还有散热的作用。厚膜电路对基片的要求包括:平整度、光洁度高;有良好的电气性能;高的导热系数;有与其它材料相匹配的热膨胀系数;有良好的机械性能;高稳定度;良好的加工性能;价格便宜。通常厚膜电路选择96%的氧化铝陶瓷基片,如果需要散热条件更好的基片则可选择氧化铍基片。
厚膜混合集成电路的材料及生产制作流程
  在厚膜混合集成电路中,无源网络主要是在基片上将各种浆料通过印刷成图形并经高温烧结而成。使用的材料包括:导体浆料、介质浆料和电阻浆料等。
  厚膜导体是厚膜混合集成电路中的一个重要组成部分,在电路中起有源器件的互连线、多层布线、电容器电极、外贴元器件的引线焊区、电阻器端头材料、低阻值电阻器、厚膜微带等作用。导体浆料中,通常的厚膜混合集成电路使用的是钯银材料,在部分军品电路和高精度电路中使用的是金浆料,在部分要求不高的电路中使用的是银浆料。
  厚膜电阻浆料也是厚膜混合集成电路中的一个重要组成部分,用厚膜电阻浆料制成的厚膜电阻是应用最广泛和最重要的元件之一。厚膜电阻浆料是由功能组份、粘结组份、有机载体和改性剂组成,一般选用美国杜邦公司的电阻浆料。
  厚膜介质浆料是为了实现厚膜外贴电容的厚膜化、步线导体的多层化以及厚膜电阻的性能参数不受外部环境影响而应用的。包括电容介质浆料、交叉与多层介质浆料和包封介质浆料。
厚膜混合集成电路的特点
  1、低噪声电路
  2、高稳定性无源网络
  3、高频线性电路
  4、高精度线性电路
  5、微波电路
  6、高压电路
  7、大功率电路
  8、模数电路混合
厚膜混合集成电路的工艺流程
  1、电路图形的平面化设计:逻辑设计、电路转换、电路分割、布图设计、平面元件设计、分立元件选择、高频下寄生效应的考虑、大功率下热性能的考虑、小信号下噪声的考虑。
  2、印刷网板的制作:将平面化设计的图形用显影的方法制作在不锈钢或尼龙丝网上。
  3、电路基片及浆料的选择:制作厚膜混合集成电路通常选择96%的氧化铝陶瓷基片(特殊电路可以选择其它基片),浆料一般选择美国杜邦公司、美国电子实验室、日本田中等公司的导带、介质、电阻等浆料。
  4、丝网印刷:使用印刷机将各种浆料通过制作好电路图形的丝网印刷在基片上。
  5、高温烧结:将印刷好的基片在高温烧结炉中烧结,使浆料与基片间形成良好的熔合和网络互连,并使厚膜电阻的阻值稳定。
  6、激光调阻:使用厚膜激光调阻机将烧结好的电路基片上印刷厚膜电阻阻值修调到规定的要求。
  7、表面贴装:使用自动贴装机将外贴的各种元器件和接插件组装在电路基片上,并经再流焊炉完成焊接,包括焊接引出线等。
  8、电路测试:将焊接完好的电路在测试台上进行各种功能和性能参数的测试。
  9、电路封装:将测试合格的电路按要求进行适当的封装。
  10、成品测试:将封装合格的电路进行复测。
11、入库:将复测合格的电路登记入库。
 
注:转载自中国百科网