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半导体传感器和MEMS国际标准化进展

作者:admin  更新时间:2018-04-25

  半导体传感器和MEMS国际标准化进展

  由于近年来硬件创新市场逐渐转移国内,中国市场对于MEMS传感器的需求增速远高于全球MEMS市场。MEMS传感器当前主要应用领域集中在消费电子、汽车电子等领域,随着产品的不断成熟,航空航天、医疗电子、工业控制等领域的应用也逐渐普及。

  目前,在MEMS领域,我国牵头制定的IEC 62047-25:2016已经发布,牵头制定的三项MEMS国际标准经过本次会议讨论将进入到CD阶段,未来我国应继续关注MEMS技术领域的设计、工艺、材料、产品性能测试等方面的标准化工作,引领产业发展。

  去年,IEC TC47/SC47E (半导体分立器件标准化分技术委员会) 和IEC TC47/SC47F (MEMS标准化分技术委员会) 工作组会议及MEMS标准研讨会在日本东京召开。共有来自中国、日本、韩国的37位专家参加。中国代表团由中国电子技术标准化研究院、中电13所、航天704所、中机生产力促进中心、北京大学、西安电子科技大学等单位的12名代表组成,参加了此次全部会议。

  IEC TC47/SC47E下设两个工作组:WG1 (半导体传感器工作组)、WG2 (微波器件工作组)。IEC TC47/SC47F下设三个工作组及一个标准维护组:WG1 (术语和定义工作组)、WG2 (MEMS材料和结构特性试验方法工作组)和WG3 (MEMS封装和器件工作组)、MT1 (标准维护组)。

  MEMS传感器是目前市场应用较为成熟的MEMS器件,其中MEMS惯性传感器、MEMS麦克风几乎已成为新型设备的标配,MEMS温湿度传感器、MEMS压力传感器等在移动终端尤其是可穿戴设备上的应用近年来也迅速增长。

  青岛智腾微电子响应国产化号召,自主研发的SIA200 mems加速度计在性能上实现革命性突破。SiA200是一种的电容体的MEMS加速度计,专为惯性应用设计。长期稳定性好,标度因数重复性,低运行偏差,振动整流误差以及低噪音等方面具备明显优势。内部集成了信号调理、模拟±2.7V输出、内置自检电路和一个温度传感器方便用户进行补偿。能够为战术级测量需求提供有效可靠的支撑。