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mems加速度计和mems陀螺仪的区别

作者:admin  更新时间:2018-04-25

  mems是指微机电系统也叫做微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。这其中mems加速度计和mems陀螺仪在同类产品中都是微型系列的,它俩之间的区别是工作原理本质的区别。mems加速度计是测线性加速度的传感器其工作原理是利用力平衡。加速度计在较长时间的测量值是正确的,而在较短时间内信号噪声的原因而会有误差。

  1、现在技术比较成熟mems加速度计分为三类:压电式、电容式、热感式。

  压电式mems加速度计是运用压电效应在内部放一个刚体支撑质量块,在运动的情况下产生压力产生变化的时候把加速度变成电信号输出。

  电容式mems加速度计是在内部放一个质量块,相当一一个平板电容器,加速度的变化带动质量块的移动从而改变电容俩极的间距通过测量电容的变化量来计算加速度。

  热感式mems加速度计相反内部没有质量块它的中央是一个加热体,周边是温度传感器其内部是密闭的气腔,工作时候内部的气体形成一个热气团,与周围的冷气有差异通过惯性热气团的移动形成热场变化让感应器感应到加速度值。

  2、mems陀螺仪

  实际的MEMS陀螺仪的设计如图。

 

  如果物体在圆盘上没有径向运动,科里奥利力就不会产生。因此,在MEMS陀螺仪的设计上,这个物体被驱动不停地来回做径向运动或者震荡,与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变化,并有可能使物体在横向作微小震荡,相位正好与驱动力差90度。MEMS陀螺仪通常有两个方向的可移动电容板,径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运动,横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化,因为科里奥利力正比于角速度所以由电容的变化可以计算出角速度。​