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MEMS加速度传感器简介

作者:admin  更新时间:2018-08-27

MEMS加速度传感器简介

  本文为MEMS加速度传感器的类型和工作原理、性能、应用和发展方向。重点介绍一下MEMS加速度传感器和MEMS传感器的应用。

  MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿科学。

  MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、未执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空航天、汽车、生物医学、环境监控、军事及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。

  目前,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中微传感器占相当大的比例、微传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点、同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

  MEMS急速所制造的加速度传感器根据原理分类有压阻式加速度传感器、压电式加速度传感器、电容式加速度传感器、热电偶式加速度传感器、谐振式加速度传感器、光波导加速度传感器,其中应用最广泛、受关注程度最高的是电容式加速度传感器。

  传统加速度传感器就是利用了其内部的犹豫加速度造成警惕变形这个特性。由于这个变形会产生电压,只要计算出产生电压和所施加的加速度之间的关系,就可以将加速度转化成电压输出。