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MEMS加速度计的制造工艺

作者:admin  更新时间:2019-01-03

  MEMS加速度计是从mems技术的应用检测物体加速度的微机电惯性传感器,因为有着体积小、功耗低、重量轻、成本低、可靠性高的优点被目前各类领域所应用。比如:弹载、无人家、无人车、智能机器人、水下潜器、石油测井、等各个领域所应用。

MEMS加速度计的制造工艺

  那么MEMS加速度计的制造工艺又是怎样的呢?

  在以往的加速度计制作方法都是利用传统的机械加工方法制造,这种方法制造的加速度计体积大、质量重、成本高、功耗大对此在各类场景中受到很大的限制,阻碍了行业的发展和科技的提升,因此MEMS的出现运营而生通过MEMS的机制制造了微型的mems加速度计用于小型化现如今的技术需求领域——以下是以CMOS-MEMS加工技术为例。

  1、通过CMOS浇筑工艺的出的效果图 (a)经过MOS工艺加工后

  2、在用CHF3./02进行各向异性的反应离子刻蚀(RIE)去掉外层的氧化物得到图(b)的效果样子经过介质腐蚀工艺后

  3 、并通过SF6/02来腐蚀硅体从底部得到微结构的效果(c)经过硅体腐蚀工艺后

  以下是显微镜下MEMS加速度计工艺完成后的SEM照片

MEMS加速度计的制造工艺

  以上是MEMS加速度计的基本原来分析也可以通过其他设计不同工艺力学结构和电容结构来实现:

  1、力学机构俩端支梁式架构、悬梁式结构。

  2、材料学质量块位移式,电容位移与输出电压的关系式推出电压值和加速度间的关系。