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MEMS陀螺仪的原理和应用领域

作者:admin  更新时间:2017-07-10

利用微细加工技术,在玻璃基座上加工出微型加热器和温度传感器,并将玻璃基座与MEMS陀螺仪结构芯片键合。通过在微型加热器两端施加电压对MEMS陀螺仪芯片进行加热,同时利用集成的温度传感器实时监控陀螺仪芯片温度,来驱动外围电路调节加热器两端的电压,维持陀螺仪芯片的温度恒定且略高于工作环境温度的上限。加热器和温度传感器集成在玻璃基座上,体积小而且温度敏感性高。该芯片级温控方法具有功耗低、体积小、适用性强和重复性好的特点,并能与微细加工工艺兼容,可实现批量生产,该方法也可以广泛地用于其他MEMS芯片的芯片级温控。MEMS陀螺仪工作原理
 
而咱们现在智能手机上选用的陀螺仪是MEMS(微机电)陀螺仪,它精度并不如前面提到的光纤和激光陀螺仪,需求参阅别的传感器的数据才干完成功用,但其体积小、功耗低、易于数字化和智能化,特别是成本低,易于批量出产,十分合适手机、轿车牵引操控系统、医疗器材这些需求大规模出产的设备。
MEMS陀螺仪的原理和应用领域
MEMS陀螺仪工作原理
手机中陀螺仪的效果
将用于丈量和保持方向的MEMS陀螺仪用在手机上有什么效果呢?首先即是乔布斯在发布会重点解说的游戏操控。比较传统重力感应器只能感应左右两个维度的(多轴的重力感应是能够检测到物体竖直方向的转动,但视点难判别)改变,陀螺仪经过对偏转、歪斜等动作角速度的丈量,能够完成用手操控游戏主角的视界和方向。比如在飞翔游戏中,手机即可作为方向盘操控飞机,只需变换不一样视点歪斜手机,飞机就会相应做出上下左右前后的联动。相似的游戏主要以竞速和模仿驾驶类居多。
传感陀螺仪
指示陀螺仪
 
 
可以简单理解为3D版的重力感应
也可与加速度计 磁阻芯片 GPS组成惯导系统
可用于 手机 航天 导弹等姿态系统