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加速度传感器的发展和类型

作者:admin  更新时间:2017-08-23
加速度测量理论基础是在300多年前牛顿提出的力学基本定律,到了现在出现了多种机械式、电磁式、陀螺摆式、挠性等加速度传感器,并通过其独特的功能性质用于航海和航空的导航系统。1930年开始用于火箭、导弹的制导系统。随着材料和工艺技术的成熟发展,1950年初出现了许多压电加速度计,60年代末出现了振弦、压电俩种型式的加速度传感器。
当科技进入硅微加工技术的时代的时候,对加速度测量领域发生了一次革命,从1979年硅电容加速度计投入使用,在不到20年中出现了更多型式的加速计:
硅电容式、硅压阻式、压电式、厚膜应变式、力平衡式、电子隧道式、热传导等多种加速度传感器。这些加速度计应用在航空、航天、机械、自动控制领域,目前研究成果仍不断涌现将来将会出现更多型式的加速度传感。
 
加速度传感器的发展和类型
耐高温石英挠性加速度计
 
现如今加速度计的种类很多,但是其基本工作原理大都是由检测质量、支撑载体和检测电路三部分组成。工作原理是根据牛顿第二定律,在加速度计随被检测对象运动时其线性加速度在检测质量 上产生的相反的惯性力,线性位移量的大小与惯性力成正比,测量这个位移量就可以获得被测加速度。
 
加速度传感器的种类:
电容式加速度计
压阻式加速度计
压电式加速度计
厚膜应变式加速度计
力平衡加速度计
电子隧道式加速度计
热传导式加速度计
 
1电容式加速度计和压阻式加速度计已经是成熟阶段也已经进入实用阶段。
2厚膜应变式加速度计和力平衡加速度计在进行深化和发展。
3压电式加速度计 处于市场的主导地位。
4而电子隧道式加速度计和热传导式加速度计还处于研发阶段。