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MEMS传感器与传统传感器的区别

作者:admin  更新时间:2017-10-13
用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构, 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点,  产能高,良品率高。MEMS技术使数以万计的MEMS芯片(有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工)出现在了每一片wafer上面,如下图所示。
MEMS传感器与传统传感器的区别
这种批量生产(batch process)的过程目前已经全自动化控制,隔离了人为因素,确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制,从而提高了良品率。切片、封装之后,就成为了一个个的MEMS芯片。从外观上来看,大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。
 
综上所述,微米量级的特征尺寸使MEMS传感器可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。是微型传感器的主力军,正在逐渐取代传统机械传感器,普遍应用于消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域。常见产品有压力传感器,加速度计,陀螺,静电致动光投影显示器,DNA扩增微系统,催化传感器。
 
与传统传感器的区别:
 
在下面的图片中,以麦克风为例我们来更清晰地认识一下传统麦克风和MEMS麦克风的区别。
 
传统的驻极体麦克风:
MEMS麦克风:
图中,传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了,体积非常小,重量也非常轻。由于是芯片制造,一致性好、功耗低,更易于批量生产。但是对技术的要求那就非常高了。MEMS传感器的出现极大的满足了大家对产品小体积、高性能的要求。