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什么是mems传感器?

作者:admin  更新时间:2017-11-10
MEMS的全称是微型电子机械体系,微机电体系是指可批量制作的,将微型组织、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通讯和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或体系。而MEMS传感器就是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。
什么是mems传感器?
 
Mems传感器的制作工艺
MEMS技术基于已经是相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现,必须采用微加工技术制造。微加工技术包括硅的体微加工技术、表面微加工技术和特殊微加工技术。体加工技术是指沿着硅衬底的厚度方向对硅衬底进行刻蚀的工艺,包括湿法刻蚀和干法刻蚀,是实现三维结构的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉积、光刻以及刻蚀工艺,通过在牺牲层薄膜上沉积结构层薄膜,然后去除牺牲层释放结构层实现可动结构。除了上述两种微加工技术以外,MEMS制造还广泛地使用多种特殊加工方法,其中常见的方法包括键合、LIGA、电镀、软光刻、微模铸、微立体光刻与微电火花加工等。
Mems传感器的技术优势
用MEMS工艺制作传感器、执行器或许微结构, 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等特点,  产能高,良品率高。MEMS技术使数以万计的MEMS芯片,这种批量生产(batch process)的过程现在已经全自动化操控,隔离了人为因素,确保了每一个MEMS芯片之间的工艺差错能够得到严格的操控,然后提高了良品率。切片、封装之后,就成为了一个个的MEMS芯片。从外观上来看,大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。