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小身材大能量——mems加速度计

  随着航天技术的飞速发展,多功能、小型化、机动性能强产品成为关注的重点,并成为当今航天武器发展的一个主要趋势。与此同时,航天用的传感器在体积、重量和性能方面也提出了更高的要求,性能优良的传感器,可以提供准确的数据。

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  作为不可或缺的产品——MEMS加速度计,具有体积小、重量轻、能耗低等优点。因此MEMS加速度计在航天领域得到了广泛的关注。由于采用了微机电系统技术,使得其尺寸大大缩小,一个MEMS加速度计只有指甲的几分之一大小。

  目前技术成熟的MEMS加速度计分为三种:压电式、电容式、热感式。目前青岛智腾所自主研发的mems加速度计即为电容式,已得到用户的广泛信赖与支持。电容式MEMS加速度计内部存在一个质量块,从单个单元来看,它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积,通过测量电容变化量来计算加速度。与其他两种加速度计相比电容式不仅能够感应“动态”加速度还能感应“静态”加速度,也就是我们所说的重力加速度。

  青岛智腾自2002年成立以来一直活跃在MEMS加速度计领域,已全面掌握MEMS相关技术,并且能够自主生产,实现全套的工艺技术流程,拥有完全自主的知识产权和产业链,能够为用户提供全国产化的解决方案。

  目前用户对于国产化的需求越来越迫切,大多数产品却因精度、稳定性等原因无法实现对进口产品的完全替代,但智腾一直以高精度高可靠性的技术进行聚焦,并于去年推出了SIA产品。

  SiA系列产品是一种电容体的MEMS加速度计,专为惯性应用设计。长期稳定性好,标度因数重复性,低运行偏差,振动整流误差以及低噪音等方面具备明显优势。内部集成了信号调理、模拟±2.7V输出、内置自检电路和一个温度传感器方便用户进行补偿。能够为战术级测量需求提供有效可靠的支撑。

  主要特点:

  运行偏差稳定性:45μg

  极好的长期零偏重复性:3.6mg

  非线性度:±0.3%FS

  严苛环境下具备极高可靠性

  LCC20,气密封装


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