之前介绍了mems加速度传感器的工作原理及应用场景，那石英挠性加速度传感器大家了解多少呢?其实石英挠性加速度计也是一种可以精确测量加速度的传感器，是加速度传感器大家族中的一员，只不过石英挠性加速度传感器比mems加速度计的精度更高、测得更准、应用领域也更广。

　　工作原理：

　　当惯性质量受到外界加速度影响时，其相对位置会发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。伺服放大器检测到这一变化并输出相应的电流，送至位于磁场内部的线圈上，产生与输入加速度力矩相平衡的反馈力矩，惯性质量再次回到平衡位置。通过测量这一电流信号，即可计算出输入加速度。

　　结构组成：

　　青岛智腾的石英加表其实主要是由表头和伺服电路两部分组成的，详细构成可以看下图，从电路、隔离环、力矩器、补偿环、磁钢知道壳体的封装。其中石英摆片部分的接线尤其重要，是在高温条件下影响寿命的主要因素，为解决高温下损坏的情况智腾采用了金丝键合的连接方式增强产品的可靠性和耐高温性能。

　　智腾推出的HQA-JM小型化石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，最后输出电流信号正比于加速度信号。产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。